Riassunto analitico
La tesi descrive i contenuti dell’attività di tirocinio, il cui obbiettivo è stata l’ottimizzazione del processo di deposizione PECVD di film Diamond-Like Carbon (DLC), al fine di renderli idonei a componenti soggetti a strisciamento in applicazioni per il settore alimentare. La realizzazione dei film DLC è avvenuta presso la ditta Vacuum Surtec, ove ha avuto luogo il tirocinio. È stato fatto uso di acetilene come gas precursore e, tramite la pianificazione degli esperimenti mediante tecnica “Design of Experiment”, si è valutata l’influenza delle variabili di processo sulla durezza del prodotto, scelta come output principale. Il modello creato è stato successivamente affinato da una seconda fase sperimentale. Lo strato di adesione, cruciale per i film DLC, è inizialmente stato realizzato utilizzando tetrametilsilano come gas precursore, e in seguito, per compatibilizzare ulteriormente la superficie metallica con lo strato DLC, tramite strati metallici “graded” depositati via arco catodico (PVD). La caratterizzazione è stata prevalentemente eseguita presso i laboratori del campus Unimore. Sono state eseguite prove meccaniche di nano-indentazione, adesione via scratch e prove tribologiche con geometria “pin-on-disk”. Tra le altre analisi, eseguite solo su campioni ottimizzati, figurano la resistenza a corrosione, analisi con fascio ionico focalizzato (FIB) e spettroscopia Raman.
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