Riassunto analitico
I film Diamond Like Carbon (DLC)sono normalmente impiegati come rivestimenti protettivi antiusura, in virtù del basso coefficiente di attrito, delle proprietà autolubrificanti e delle elevate caratteristiche meccaniche, in termini di durezza e modulo elastico. Spesso questi rivestimenti presentano elevati stress residui compressivi che possono peggiorare l'adesione al substrato e influenzare marcatamente le proprietà meccaniche. Nel presente lavoro di tesi, è stata svolta, preliminarmente, una approfondita ricerca bibliografica volta ad individuare i principali metodi di misura degli stress residui e, tra questi, a selezionare la metodologia più adatta all'applicazione in ambito industriale. Poiché la natura amorfa di questi rivestimenti preclude la caratterizzazione mediante difrattometria a raggi X (XRD), si è scelto di misurare la freccia pre e post deposizione dei film depositati su substrati di spessore ottimale. Per il successivo studio sono stati selezionati quattro differenti substrati (acciaio AISI 304, lega Ti6Al4V, lega di alluminio 7075 e lega rame – berillio CuBe) ed è stato variato il controllo del bias e si è dopato il film con Si, al fine di valutare l’influenza di modalità di bias e dell’elemento dopante sull'entità degli stress residui e, di conseguenza, sulle proprietà meccaniche. A questo scopo, sono state svolte misure della freccia del campione pre e post deposizione per determinare gli stress residui e analisi di nanoindentazione strumentata per ricavare durezza e modulo elastico. Mediante analisi di scratch è stata inoltre determinata l’adesione al substrato.
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